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系列:形位测量仪器

  • 名称:MMD-HPG系列粗糙度轮廓度测量仪
  • 型号:MMD-HPG系列
  • 品牌:
  • 编号:
销售/咨询电话400-0393-118

>>>技术描述>>>

项目

参数

型号

MMD-HPG100F

MMD-HPG100H

测量范围

X轴

100mm

100mm

Z1(传感器)

25mm

40mm

高度

400mm

400mm

最小内孔

30mm(换小测针可测更小内径)

30mm(换小测针可测更小内径)

测量精度

X轴

(L=X轴移动导轨距离)

±(0.8+0.002L)μm

±(0.6+0.002L)μm

Z1轴

(H=Z1轴方向测量高度)

±(0.5+0.005H)μm

±(0.3+0.005H)μm

示值误差

±5%

±5%

示值稳定性

≤±7%

≤±7%

测量重复性

±3%

±3%

X轴

X

直线度

0.6μm/100mm

0.4μm/100mm

分辨率

0.02μm

0.01μm

产地

美国

美国MicroE

传感器

类型

光栅传感器

光栅传感器

分辨率

0.02μm

0.01μm

产地

美国

美国

评定长度

λc×3、4、5、6、7

λc×3、4、5、6、7

截止波长

0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm

0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm

爬坡角度

上升77°下降88°

上升77°(Upside),下降88°(Downside)

测量速度

0.02mm至4.0mm/s

0.02mm至4.0mm/s

测量方式

传感器移动

传感器移动

气源压力

0.45~0.80Mpa

0.45~0.80Mpa

气源流量

≥0.2m3/min

≥0.2m3/min

电源

AC220V±10% 50Hz

AC220V±10% 50Hz

环境要求

温度(T):10~30℃;相对湿度(RH):<85%

温度(T):10~30℃;相对湿度(RH):<85%



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