>>>技术描述>>>

1. 测量范围：300X*200Y*200Zmm；

2. 玻璃承重：60kg；

3. 影像及测量系统测量速度：

   a. MAX:（XY:350mm/s Z:200mm/s）；

   b. CCD：2000万像素海康大靶面高速光纤数字相机；

   c. 物镜：低畸变双远芯镜头；

   d. 行程：常规广视野行程300*200mm；

   e. 光栅显示分辨率：反射带贴片式光栅尺0.5um ；

4. 测量精度

   a. 无拼接，广视野：±2.5μm；

   b. 有拼接，广视野：±(4+L/200)μm；

5. 载物台承重：不小于 25kg；

6. 测量时间：单视野≤1秒,拼接根据篇幅，每幅图≤2秒；

7. 最大外形尺寸：500*980*1700mm；

8. 仪器重量：260kgkg；

9. 灯源：可程控环形表面光及远芯平行冷光底源,亮度可调；

10. 环境要求：温度：20°±5°，相对湿度：30%-80%，震动＜30Hz。