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光谱专用氩气净化机

  • 名称:光谱专用氩气净化机
  • 型号:YST3000Y
  • 品牌:雅视特
  • 编号:

>>>技术描述>>>

一、对原料氩气要求

1. 一般瓶装纯氩,液氩、控制较好的管道氩气;

2. 杂质要求:O2≤500PPm,H2O≤500PPm;

二、输出纯气

1. 纯度:99.9998%;

2. 杂质含量:

a. O2≤0.3PPm;

b. H2O≤0.2PPm(即露点≤-86℃);

c. CO+CO2≤0.1PPm;

d. S、P的氧化物≤0.1PPm;

3. 尘埃粒子数(≥0.3μm)3-5个/升;

4. 处理气量:4M3/h;

5. 设备尺寸:360mm×560mm×1000mm。


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